超精密機械（xiè）加工是一種加工技術，能夠實現納米級和亞微米級的加工精（jīng）度。這種技術主要依賴（lài）於綜合應（yīng）用精密機（jī）械、精密測量、精密伺服係統和計算機控製等各種先進技術（shù）。超精密加工技術廣泛應用於光學（xué）零件、精密軸承（chéng）、光盤驅動器、電子器（qì）件、飛機結構件和醫療器（qì）械等關鍵領域。
小編（biān）總結（jié）一下（xià）以下是超精密機械加工時減少故障現象的措施有（yǒu）：
針對（duì）加工（gōng）刀具（jù）的伸出長度，盡量（liàng）縮短伸出長度，減小刀（dāo）具和工件的動靜摩擦係數及相對摩擦（cā）速度。
針對切削用刀具，要增加刀具的剛性和硬度，減少刀具的磨損。
針對被加工（gōng）件，在不影響使用性能的前提下，應降低對它的要求（qiú）。
適當提（tí）高係統（tǒng）的剛度，特別是工件和刀架的剛（gāng）度。
采用新的（de）製造工藝和新型合成材料（liào），提高切削速（sù）度。
在精加工時盡（jìn）可能減少或避免切削用量。
選擇工件在卡盤上的（de）夾（jiá）持位置時，盡量減少懸伸長度，以防止工（gōng）件受重力而變形。
減少工件熱變形的措施主要是設法降低切削溫度。例如：使用冷卻液（yè）、合理選擇刀具材料、改進刀（dāo）具角度（dù）和切削用量等。
盡量（liàng）使刀具在恒溫下進行（háng）加工。
防止機床各部的熱（rè）變形，如采用隔熱措施。
避免刀具內部產生熱量而影（yǐng）響其熱平衡。
避免機（jī）床內部熱量傳導到刀具或工（gōng）件（jiàn）上。
正確選擇工件和刀具的夾持裝置，增加其夾緊的可靠性。
盡量減少工件夾持部分的長（zhǎng）度（dù），並避（bì）免懸伸過長。
提（tí）高工（gōng）件內孔與外（wài）圓的同（tóng）軸度。
在切削過程中，合（hé）理選擇切削用量，並改善排屑條件，避免產生切削力（lì）過大的現（xiàn）象。
提高操（cāo）作者的技（jì）術水（shuǐ）平，防止人為操作失誤造成故障。
以上都是（shì）一些常見且實用的措施，另外還可以（yǐ）根據具體加工情況進行技術研發和改造。
