精（jīng）密机（jī）械（xiè）是指通过（guò）高精度设计、制造和（hé）装配，能（néng）够实现微米级甚至（zhì）纳米级精度操作、测量或控制的机（jī）械装置与系（xì）统（tǒng），广泛应用（yòng）于航空航天、医疗器（qì）械、电子制造、精密仪器等对精度（dù）和可（kě）靠性（xìng）要（yào）求极高的领域。它融合了机械设计、材料科学、精密测量（liàng）、自动控制等多学（xué）科技术（shù），是高端制造业的核心（xīn）基础。
半导体制造
光刻机：核心精密机械系统（tǒng），需将光（guāng）刻图案以纳米级精度投影到晶圆上，其工（gōng）作（zuò）台定位精（jīng）度达 ±2 纳米，是芯片制程突破的关键。
晶圆（yuán）划片（piàn）机、键合（hé）机：实现微（wēi）米级切割和芯片封（fēng）装（zhuāng），确保半导体器件的电学性能。
航空航天与国防
惯性导航系统（tǒng）：陀螺仪、加速度计等精密机械元件，需在极端环境（jìng）下保持 0.001°/h 的（de）漂移（yí）精度，为航天器、导弹提供导航基准。
卫星（xīng）天线调（diào）整机构：实现天线指向精（jīng）度 ±0.1°，确保与地面通信的稳定（dìng）性。
医疗器械
手术机器（qì）人（如（rú）达芬奇机（jī）器人）：机械（xiè）臂末端操作精度达 0.1 毫米，可完成微创外（wài）科手术中的精（jīng）细动作（如缝合血管）。
精密输（shū）液（yè）泵：流量控制（zhì）精度 ±1%，确保药（yào）物剂量的精准输送。
精密仪器
电子显微镜：通过精密机械结构控制电子束聚焦和样品移动，分辨率达 0.1 纳米，用（yòng）于材料微观结（jié）构观察。
激光干涉仪（yí）：作为长度基准仪（yí）器，测量精度可（kě）达 0.01 微米，用于校准其他精密设（shè）备。
高端装备
精密数控机（jī）床（chuáng）：五轴（zhóu）加工中（zhōng）心的定位精度达 ±5 微米（mǐ），可加工航空发动机叶片等复杂曲面零件。
光学仪器（qì）：如天文望远镜的镜面调整机构，定位精（jīng）度达微米级，确保星光聚焦的清晰度。
